SERVICE精密洗浄・表面加工事業

精密洗浄技術で、各種製造装置の
歩留り向上及びコスト削減に貢献します

21世紀のデジタル・ネットワーク時代、ICTの進展はめざましいものがあり、

半導体・FPDを始めとする各種製造技術は急速に進んでいます。 

新菱の精密洗浄技術で、ミクロンからナノ単位の

目には見えない汚れ(パーティクル、メタルなど)をきめ細かく除去致します。

これら高度な精密洗浄技術、及び表面改質技術により、お客様の歩留り向上及びコスト削減に貢献します。

事業内容

微細粒子の除去

発塵源となるパーツ表面の微細付着粒子を、新菱洗浄技術で除去します。
微細粒子の除去
(10,000倍観察)
 

セラミック溶射表面の変質層除去

セラミック溶射表面の変質(フッ化)層を粗度変化なく除去し、パーティクルを低減します。
セラミック溶射表面の変質層除去
 
 

金属表面の変質層除去

アルミ表面の変性層(フッ化物)を除去しパーティクル低減します。
ガス孔内部の変質層除去が可能です。
金属表面の変質層除去
 
 

研磨材の除去

ブラスト処理後の残留研磨材を完全に除去します。
研磨材の除去
 
 

超高清浄度表面の提供

新品加工後の製品表面にある不純物(メタル,パーティクル)を極限まで除去し、高付加価値を与えます。
製品表面にある不純物(メタル,パーティクル)を極限まで除去
 
 

金属汚染低減

金属汚染をpptレベルまで低減し、製品歩留改善に貢献します。自社での分析が可能です。

Si電極洗浄後の溶出金属分析結果

  Na K Ca Mg Al  Fe Cr Ni Cu Mn Zn Ti Si
弊社洗浄後  <1 <1 <1 <1 <1 <1 <1 <1 <1 <1 <1 <10 <10
他社洗浄後(日本) 3 1 1 1 23 <1 <1 26 <1 <1 1 <10 <10
メーカー洗浄後(海外) 6 3 5 <1 <1 2 <1 <1 <1 <1 2 <10 <10

(単位:ppb) 

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