21世紀のデジタル・ネットワーク時代、ICTの進展はめざましいものがあり、
半導体・FPDを始めとする各種製造技術は急速に進んでいます。
新菱の精密洗浄技術で、ミクロンからナノ単位の
目には見えない汚れ(パーティクル、メタルなど)をきめ細かく除去致します。
これら高度な精密洗浄技術、及び表面改質技術により、お客様の歩留り向上及びコスト削減に貢献します。
Si電極洗浄後の溶出金属分析結果
Na | K | Ca | Mg | Al | Fe | Cr | Ni | Cu | Mn | Zn | Ti | Si | |
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弊社洗浄後 | <1 | <1 | <1 | <1 | <1 | <1 | <1 | <1 | <1 | <1 | <1 | <10 | <10 |
他社洗浄後(日本) | 3 | 1 | 1 | 1 | 23 | <1 | <1 | 26 | <1 | <1 | 1 | <10 | <10 |
メーカー洗浄後(海外) | 6 | 3 | 5 | <1 | <1 | 2 | <1 | <1 | <1 | <1 | 2 | <10 | <10 |
(単位:ppb)