半導体プロセスにおいて、装置の状態やプロセス条件を確認するために大量のモニターやダミーウェーハが使用されています。この使用済みモニター/ダミーウェーハをお客様からお預かりして、脱膜、研磨、洗浄を行い、再使用できる製品に仕上げてお客様に返却しております。
