洗浄・表面処理技術

低コンタミ、発塵性パーツを提供します

特殊洗浄技術

ライトエッチング洗浄	素材と反応生成物(AIF)の除去
Bakeless洗浄	素材と反応生成物(AIF)の除去
機能水洗浄	表面清浄化の向上
高圧水洗浄	圧水のみを使用した洗浄
ドライアイスブラスト	素材にマイルド、低コンタミ洗浄
アフターリンス	クリーンルーム内において特殊薬品での洗浄
自動洗浄機	低コンタミ洗浄
Cuコンタミ防止	Cuプロセス洗浄品の完全専用ライン化

表面処理技術

ELR溶射	低発塵性スパッタ膜の形成
Al2O3溶射	Depo膜のアンカー効果向上
ソフトブラスト	素材からの欠落粒子の低減