ウェハバンプめっき加工

対応ウェハサイズ4インチ, 6インチ, 8インチ
シード層Ti / Cuなど
加工工程スパッタ・フォトリソ・めっきレジスト剥離
エッチング・リフロー

バンプ仕様CuポストNiはんだ
①Ni+はんだ
②Cuポスト+はんだ
③Cuポスト
④Cuポスト+Ni+はんだ

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